四电极半导体性能测量系统

2016-03-05 14:20 人浏览

该套系统创建于1970年左右，广泛应用于电子行业、半导体制造业、科研院所。用于测量材料电阻率及薄层材料的薄层电阻。以及其它固体材料的电学性质研究。我们用该套系统对本科生开设出《硅平面器件制作及性能表征》的综合实验。