硅光电器件管芯特性的测量与分析实验装置

2016-03-05 14:21 人浏览

该套设备创建于1970年左右，广泛应用于电子行业、半导体制造业、科研院所。用于硅光电器件管芯特性的测量。该设备可以直接观察微电子器件的平面结构及表面状态，我们用该套设备对本科生开设出《硅平面器件制作及性能表征》的综合实验。